晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐
產(chǎn)品名稱：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐
一．概述
晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐，主要以抽完真空后通入保護(hù)氣氛進(jìn)行高溫處理的設(shè)備，以抽真空形式快速把爐內(nèi)空氣置換，以減少爐內(nèi)氧含量，并節(jié)省保護(hù)氣。本爐主要適用于小批量生產(chǎn)，利用人工把產(chǎn)品放入爐腔內(nèi)燒結(jié)之用，具有 使用靈活性高等優(yōu)點(diǎn)。
二、主要參數(shù)
型 號(hào)：BXZQ-54-16
爐腔尺寸：700*400*430mm（深X寬X高）
使用氣氛：氮?dú)狻鍤?/span>（正壓＜0.04Mpa下使用）
使用方法：預(yù)抽真空后通入氣體保護(hù)燒結(jié)
額定功率：≈54KW（實(shí)際功率由儀表根據(jù)熱損耗自動(dòng)控制調(diào)節(jié)）
電 壓：380V
額定溫度：1600℃
控制方式：可控硅移相調(diào)壓
報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶報(bào)警保護(hù)
溫控儀表：智能PID調(diào)節(jié)，30段可編程式控溫曲線（全自動(dòng)升、降、保溫）
分度號(hào)：采用B分度鉑銠熱電偶
真空泵：旋片式真空泵
加熱溫區(qū)：1個(gè)溫度區(qū)域單獨(dú)控制
加熱元件：硅鉬棒
注：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐等其他型號(hào)規(guī)格可以根據(jù)用戶實(shí)際需求設(shè)計(jì)，價(jià)格僅參考，歡迎咨詢?cè)斦劊?510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理。