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一、操作前準(zhǔn)備?
1.設(shè)備檢查?
檢查真空系統(tǒng)（機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵等）是否正常
確認(rèn)爐體密封性（O型圈、法蘭、閥門無泄漏）
檢查冷卻水系統(tǒng)（流量、壓力是否達(dá)標(biāo)）
確保加熱元件（如石墨、鉬絲）無損壞
2.工件準(zhǔn)備?
清潔工件表面，去除油污、氧化皮等雜質(zhì)
避免使用含鋅、鎘等易揮發(fā)金屬的鍍層
合理裝爐，避免工件接觸加熱元件或爐壁
3.工藝參數(shù)設(shè)定?
根據(jù)材料要求設(shè)定升溫曲線、保溫時(shí)間、冷卻方式
確定真空度要求（低真空：10?1~10?3 Pa；高真空：≤10?? Pa）
二、操作流程?
1.抽真空?
先啟動(dòng)機(jī)械泵抽至低真空（10?1~10?2 Pa）
再啟動(dòng)擴(kuò)散泵（若需高真空，需預(yù)熱20~30分鐘）
達(dá)到目標(biāo)真空度后，方可開始加熱
2.加熱階段?
按預(yù)設(shè)程序升溫，避免過快導(dǎo)致熱應(yīng)力開裂
在低溫階段（<600℃）適當(dāng)通入惰性氣體（如Ar、N?）以減少揮發(fā)
監(jiān)控爐內(nèi)壓力，防止材料揮發(fā)污染爐膛
3.保溫階段?
保持設(shè)定溫度和時(shí)間，確保組織均勻化
持續(xù)監(jiān)測(cè)真空度，必要時(shí)補(bǔ)充惰性氣體
4.冷卻階段?
氣淬?：通入高純惰性氣體（如N?、Ar）快速冷卻
油淬?：適用于部分合金鋼，需使用真空淬火油
爐冷?：關(guān)閉加熱，自然冷卻至安全溫度（<150℃）
5.破空取件?
冷卻至安全溫度后，緩慢充入空氣至常壓
避免快速破空導(dǎo)致工件氧化或爐體損傷
總結(jié)?：真空爐熱處理的關(guān)鍵在于?真空控制、溫度精準(zhǔn)、冷卻合理?。操作時(shí)需嚴(yán)格遵循工藝曲線，確保設(shè)備安全，才能獲得理想的熱處理效果。
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